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磁导调制型时栅位移传感器测量方法研究

磁导调制型时栅位移传感器测量方法研究

作     者:武亮 陈锡候 王阳阳 黄奔 WU Liang;CHEN Xihou;WANG Yangyang;HUANG Ben

作者机构:重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心重庆400054 

基  金:国家自然科学基金仪器科学专项项目(51127001) 

出 版 物:《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期:2014年第27卷第8期

页      码:1043-1048页

摘      要:时栅位移传感器采用时空坐标转换理论,可在低加工精度条件下实现角位移的高精度测量,现已应用于高精度数控转台控制系统中。原有的场式时栅位移传感器借鉴电机结构,通过转子线圈感应旋转磁场产生电行波,再通过滑环引出。为了消除滑环结构,进一步降低成本、提高传感器抗干扰能力,通过磁导调制方法产生两路驻波并合成电行波,采用两路驻波磁路分离式结构,设计去除转子绕线的磁导调制型时栅位移传感器。利用电磁仿真软件对传感器的各项参数进行仿真优化,传感器仿真电行波幅值变化6.1%;采用光栅进行精度标定实验,测量精度达到-2.7″^+2.2″。

主 题 词:角位移检测 时栅传感器 磁导调制 光栅标定 

学科分类:0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 

核心收录:

D O I:10.3969/j.issn.1004-1699.2014.08.008

馆 藏 号:203428126...

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