硅基红外热堆中热电偶尺寸和对数对探测性能的影响

作     者：李志怀 冯明 刘月英 沈德新 卢建国 朱自强 

作者机构：中国科学院上海冶金研究所上海200050 

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6 992 5 40 9) 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：2001年第22卷第10期

页      码：1287-1291页

摘      要：分析了多晶硅 -金集成热堆中热电偶的尺寸和对数对热堆性能的影响 ,对非接触红外测温的实用型热堆提出了设计和改进的思路 .随着热电偶对数的增加 ,时间常数减小 ,响应率增大 ,探测率出现最大值 .减小热电偶的长度可以减小热堆内阻和时间常数 .多晶硅横截面积和金横截面积的比值接近最佳比值时 ,探测率呈最大值 3× 10 8cm· Hz1 / 2· W- 1 .

主 题 词：热电偶 探测性能 硅基 红外热堆 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-4926.2001.10.013

馆 藏 号：203432530...