基于响应曲面法的激光透射连接硅与玻璃的工艺研究

作     者：薛国春 刘会霞 李品 蒋涛 高阳阳 严长 王霄 

作者机构：江苏大学机械工程学院江苏镇江212013 

基　　金：国家自然科学基金(51275219) 江苏省光子制造科学与技术重点实验室开放基金(GZ201105)资助课题 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2013年第40卷第3期

页      码：76-85页

摘      要：采用Nd…YAG脉冲激光器对硅与玻璃进行激光透射连接实验。阐述了激光透射连接硅与玻璃的连接机理。采用旋转中心复合设计进行实验规划,使用响应曲面法(RSM)建立了激光透射连接工艺参数与剪切强度、熔池宽度的数学模型,进行了方差分析、实验模型的验证,讨论了激光透射连接工艺参数对剪切强度、熔池宽度的交互影响趋势,运用满意度函数对工艺参数进行优化,并对优化结果进行验证。结果表明,所建立的模型能够较好地反映各响应与工艺参数之间的关系,优化的预测结果与验证实验的结果较为吻合,对提高连接质量和降低生产成本具有很好的指导意义。

主 题 词：激光技术 激光透射连接 响应曲面法 硅 玻璃 工艺参数优化 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/cjl201340.0303004

馆 藏 号：203433458...