新型隧穿磁强计结构-多梳齿结构

作     者：张海昌 汤学华 胡晓莉 

作者机构：华东理工大学上海200237 上海电机学院上海200245 

基　　金：上海市教育委员会科研项目--隧穿式MEMS磁强计的研制技术研究(06ZZ97) 

出 版 物：《机械工程师》 (Mechanical Engineer)

年 卷 期：2009年第11期

页      码：13-15页

摘      要：水平式隧穿磁强计在应用中,直梁所受的最大应力超出其许用应力出现直梁断裂的现象,同时由于所需驱动电压较高,限制了磁强计的应用范围。文中优先考虑梁内部应力对隧穿磁强计直梁尺寸进行设计,并改变其结构,采用新型的隧穿磁强计结构多梳齿结构,然后采用Ansys验证了改进后结构的正确性,同时对驱动电压和理论灵敏度进行了计算。研究结果表明:在保证直梁正常工作的前提下该设计可将磁强计所需的驱动电压降低到16.5V、在文中设计宽度下灵敏度较原宽度提高了1.35倍。

主 题 词：隧穿磁强计 许用应力 多梳齿结构 驱动电压 灵敏度 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203433589...