单晶金刚石微杯形谐振子的激光刻蚀制造方法(英文)

作     者：何汉辉 李微 肖定邦 侯占强 吴学忠 He Hanhui;Li Wei;Xiao Dingbang;Hou Zhanqiang;Wu Xuezhong

作者机构：国防科学技术大学机电工程与自动化学院长沙410073 

基　　金：supported by National Nature Science Foundations of China(51175506) 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2015年第27卷第2期

页      码：14-18页

摘      要：基于激光刻蚀技术,提出了一种新型单晶金刚石微杯形谐振子的三维制造方法。由于高弹性模量、低热弹性阻尼以及较大的声波传递速度等优异的性质,单晶金刚石是一种理想的谐振子加工材料,但是金刚石硬度大且化学性能稳定,难以采用传统的加工方法成形加工。激光刻蚀因精度高,加工结构对称性好以及破损率低等特点,是一种较好的单晶金刚石加工方法。采用紫外激光加工机,研究了不同激光参数对单晶金刚石刻蚀质量的影响,通过合理设计微杯形谐振结构,规划激光刻蚀加工的轨迹,采用优化后激光刻蚀参数,实现了结构对称性较好的微杯形谐振子的加工,有望应用于高性能微杯形谐振陀螺。

主 题 词：单晶金刚石 微杯形谐振子 激光刻蚀 制造方法 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

核心收录：

D　O　I：10.11884/hplpb201527.024102

馆 藏 号：203434103...