应用于气体传感器的具有铝/金电极的单模式两端对声表面波谐振器

作     者：王文 谢晓 邵秀婷 刘明华 何世堂 

作者机构：中国科学院声学研究所北京100190 

基　　金：国家自然科学基金(11074268 11274340)资助 

出 版 物：《声学学报》 (Acta Acustica)

年 卷 期：2013年第38卷第6期

页      码：694-698页

摘      要：为改善气体传感器性能，通过器件优化设计获得了一种应用于气体传感器的具有低损耗、高品质因子（Q）的单模式两端对声表面波（SAW）谐振器。该谐振器由两个换能器、分置于换能器两边的短路栅反射器以及在换能器之间分布的用于敏感膜镀膜的约2．5mm金属薄层构成。谐振器采用铝／金双层电极以降低测试气体环境的腐蚀影响。利用经典耦合模（COM）理论对器件性能进行了仿真以提取优化的结构设计参数。基于仿真结果，实验研制了基于300MHz频率的新型铝／金电极SAW两端对谐振器，测试结果显示所研制器件具有较低损耗（〈7dB），较高Q值（-3000）以及单一谐振模式的特点，并且，以所研制的新型谐振器为频率控制单元的谐振器型振荡器表现出良好的频率稳定度（t15Hz／h），这对于改善气体传感器的检测下限及稳定性等性能指标具有重要意义。

主 题 词：声表面波谐振器 气体传感器 金电极 单模式 应用 频率稳定度 器件性能 铝 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.15949/j.cnki.0371-0025.2013.06.004

馆 藏 号：203434769...