Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展

作     者：徐晔 蔡珣 陈秋龙 沈耀 李刘合 XU Ye;CAI Xun;CHEN Qiulong;SHEN Yao;LI Liuhe

作者机构：上海交通大学先进热处理与表面改性工程技术研究中心上海200240 北京航空航天大学机械设计与自动化学院材料加工与控制系北京100083 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50271004) 上海市纳米专项基金资助项目(0359nm005) 

出 版 物：《新技术新工艺》 (New Technology & New Process)

年 卷 期：2006年第8期

页      码：5-8页

摘      要：随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响。

主 题 词：Ti-Si-N膜 纳米复合膜 微观结构 纳米硬度 工艺参数 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-5311.2006.08.001

馆 藏 号：203434800...