三轴罗茨真空泵的抽气理论和结构设计

作     者：刘坤 李培印 李强 巴德纯 王光玉 张振厚 Liu Kun;Li Peiyin;Li Qiang;Ba Dechun;Wang Guangyu;Zhang Zhenhou

作者机构：东北大学机械工程与自动化学院沈阳110004 北京卫星环境工程研究所北京100094 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司沈阳110168 

基　　金：国家自然科学基金项目(51376039) 教育部中央高校基本科研费(N120403006) 十一五国家科技重大专项(2009ZX02014-002) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2015年第35卷第8期

页      码：934-939页

摘      要：新兴行业的不断兴起给真空泵带来了快速发展的机遇,同时也对真空泵的集成化、高效率、节约空间、高技术含量提出了更高的要求。本文提出了一种三轴式的罗茨真空泵,对其抽气过程进行了介绍,并基于啮合原理,给出了一种典型的四叶圆弧型转子的型线方程。通过对抽气过程的建模分析,在抽气效率、压缩比、旋转应力和热变形等方面,与常规的双轴式罗茨真空泵进行了对比。计算和模拟结果表明,在空间尺寸增加不多的情况下,三轴式罗茨真空泵具有接近两倍的抽速、良好的压缩比和更好的动平衡特性的特点,具有较好的技术优势和发展前景。

主 题 词：罗茨真空泵 三轴 设计理论 转子型线 压缩比 变形量计算 

学科分类：08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2015.08.04

馆 藏 号：203435414...