基于FPGA的数字化中频磁控溅射电源设计

作     者：刘艺超 陈文光 饶益花 李云程 LIU Yi-chao;CHEN Wen-guang;RAO Yi-hua;LI Yun-cheng

作者机构：南华大学电气工程学院湖南衡阳421001 衡阳市真空机电设备有限公司湖南衡阳421001 

基　　金：湖南省科技厅项目资助(2009CK4013) 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2011年第48卷第6期

页      码：65-68页

摘      要：介绍了一种全数字控制的中频磁控溅射电源设计。主电路前级采用直流斩波调压,后级采用全桥逆变的电路结构。控制电路由现场可编程门阵列(FPGA)计算产生高分辨率的数字脉宽调制信号(DPWM)实现。电源工作于恒流模式,通过PID算法调节Buck斩波电路的驱动DPWM来实现闭环控制。全桥逆变电路的驱动信号由FPGA计算产生,通过按键可设置驱动的DPWM,输出所需的固定频率和占空比的矩形波。对于靶面微打弧和强打弧,FPGA采取不同的保护措施。最后制作了5kW的样机进行验证,实验证明,方法可行,具有好的应用前景。

主 题 词：中频磁控溅射电源 Buck斩波 数字化控制器 FPGA 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081001[081001] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2011.06.035

馆 藏 号：203435417...