超磁致伸缩薄膜微机械变形镜驱动器的研究

作     者：赵泽宇 侯德胜 谌贵辉 张万里 Zhao Zeyu;Hou Desheng;Chen Guihui;Zhang Wanli

作者机构：中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都610209 电子科技大学成都610054 西昌学院西昌615022 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第Z1期

页      码：151-155页

摘      要：分析了微机械变形镜MEMS驱动器的种类及其特点,并在磁致伸缩薄膜具有低磁场下的大形变、低功耗、高响应速度等特性基础上,提出了超磁致伸缩薄膜MEMS驱动器的原理.由于TbFe磁致伸缩薄膜在外加磁场作用下,微桥将在水平方向上产生伸长变形,从而引起微桥在垂直方向上发生位移.根据这一原理,设计了一种用于微机械变形镜MEMS驱动器的超磁致伸缩薄膜驱动结构,同时提出制作磁致伸缩薄膜连续式微机械变形镜的工艺流程.

主 题 词：超磁致伸缩薄膜 微机电系统 微机械变形镜 驱动器 微桥 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.051

馆 藏 号：203438730...