电容式加速度微传感器

作     者：郑志霞 冯勇建 

作者机构：莆田学院电子信息工程系福建莆田351100 厦门大学微机电中心福建厦门361005 

出 版 物：《莆田学院学报》 (Journal of putian University)

年 卷 期：2004年第11卷第3期

页      码：60-63页

摘      要：介绍一种新型电容式加速度微传感器的结构和原理,并进行受力分析。利用ANSYS进行有限元分析,得出加速度和电容之间的非线性关系,证明了该传感器在工艺设计上的可行性。设计合适的传感器结构参数和MEMS工艺流程,制作出满足不同测量要求、有较高精度的加速度传感器。

主 题 词：加速度 微传感器 电容式 MEMS工艺 有限元分析 形变 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-4143.2004.03.015

馆 藏 号：203439294...