正交梁式隧道效应微机械陀螺仪的设计与仿真

作     者：罗源源 刘俊 李锦明 LUO Yuan-yuan;LIU Jun;LI Jin-ming

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 

基　　金：武器装备预研基金项目资助(51409030405BQ0402) 新世纪优秀人才支持计划资助(NCET-04-0259) 山西省高等学校青年学术带头人资助项目 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2007年第20卷第2期

页      码：317-320页

摘      要：针对传统的角速率陀螺仪存在的缺点与不足,根据电子隧道效应的特点,设计了一种新型基于隧道效应的微机械陀螺仪,运用计算机辅助软件ANSYS对其进行了建模和仿真.把电子隧道原理应用到微机械振动陀螺中对振动位移进行检测,结构简单,功耗低,抗干扰能力强,可靠性好,线性度高,具有很高的灵敏度,尤其在提高微机械振动陀螺的测量精度和灵敏度的方面显示其优势.

主 题 词：微机械 电子隧道效应 隧道陀螺仪 仿真分析 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2007.02.017

馆 藏 号：203440131...