洁净、平滑的运动

出 版 物：《工业设计》 (Industrial Design)

年 卷 期：2007年第Z1期

页      码：16-16页

摘      要：气浮效应设计使气缸几乎不产生摩擦在极度洁净的环境里实现运动控制,例如半导体晶片加工,总是一件很难处理的事情。为了达到良好的焊接效果而采取的折衷方式通常会导致较高的滑动摩擦系数。

主 题 词：运动控制 滑动摩擦系数 半导体 气缸壁 气浮 晶片加工 洁净 运动装置 设计 无摩擦 

学科分类：080704[080704] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

馆 藏 号：203440817...