恒压式气体微流量计的设计

作     者：张涤新 孟扬 吕时良 

作者机构：兰州物理研究所 

出 版 物：《中国空间科学技术》 (Chinese Space Science and Technology)

年 卷 期：1999年第19卷第3期

页      码：65-71页

摘      要：恒压式气体微流量计是校准气体微流量的一种装置，校准范围为（１７．１～１×１０－５）Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２％，可采用直接测量法和比较测量法对标准漏孔进行校准。文章介绍恒压式气体微流量计的设计方法和结构参数的选择。

主 题 词：气体流量计 校准 结构参数 设计 微流量计 检漏 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

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馆 藏 号：203441582...