国外电子气体技术进展

作     者：梁国仑 余京松 

作者机构：光明化工研究设计院辽宁大连116031 浙江大学材料系功能室浙江杭州310027 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2001年第26卷第2期

页      码：25-28页

摘      要：论述了集成电路技术的发展对电子气体质量提出的更为刻苛的要求。介绍了一些相关新设备、新仪器以及新品种电子气体的应用。

主 题 词：电子气体 集成电路 气体分析仪 粒子计数 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353X.2001.02.007

馆 藏 号：203443089...