抗高过载微压传感器

作     者：尹颢 杨恒 王文襄 沈绍群 鲍敏杭 YIN Hao;Yang Heng;WANG Wen-xiang;SHEN Shao－qun;BAO Min－hang

作者机构：复旦大学电子工程系传感器研究室上海200433 宝鸡秦岭晶体管厂陕西宝鸡721001 

基　　金：国家自然科学基金 !(696740 3 2 ) "九五"传感器科技攻关项目 !(96-748-0 2 -0 1/ 0 2 ) 

出 版 物：《传感器技术》 (Journal of Transducer Technology)

年 卷 期：2001年第20卷第4期

页      码：48-51页

摘      要：在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象。提出了应力匀散结构和两层岛的限位结构 ,利用有限元分析和近似解析分析 ,设计了新的双岛 -梁 -膜结构 ,成功地研制出抗高过载微压传感器。量程为 0 .3kPa ,总精度为 0 .4% ,过载能力 >

主 题 词：微压传感器 过载能力 非线性 灵敏度 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2001.04.015

馆 藏 号：203447960...