MEMS仿生矢量水听器封装结构的隔振研究

作     者：杨江涛 马喜宏 邬琦 YANG Jiangtao;MA Xihong;WU Qi

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学计算机与控制工程学院太原030051 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2015年第38卷第3期

页      码：499-505页

摘      要：利用隔振原理,设计了矢量水声传感器系统中一种新型隔振封装结构模型,即加入橡胶减振器的新型封装结构。采用ANSYS软件对封装模型进行模态分析,研究模型结构和几何尺寸对其隔振性能的影响,确定最优隔振封装结构;对模型的几何尺寸及橡胶隔震材料力学参数进行优化,并对优化模型的隔振性能进行实验测试和评估。实验结果表明:所设计的新型橡胶减振结构具有一定的减振效果,隔离了一定程度的核心器件以外的外界振动干扰,提高了原有封装结构矢量水听器的探测灵敏度。再次验证了硅微MEMS仿生矢量水声传感器不但体积小、质量轻、结构简单,而且具有低频灵敏度高等优点。

主 题 词：MEMS仿生矢量水听器 有限元分析 减振器 封装 

学科分类：082403[082403] 08[工学] 0824[工学-林业工程类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2015.03.006

馆 藏 号：203448210...