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一种差分式电容传感器读出电路及其前置放大器的设计

一种差分式电容传感器读出电路及其前置放大器的设计

作     者:吕志军 倪学文 莫邦燹 项斌 

作者机构:北京大学微电子研究所北京100871 

出 版 物:《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期:2003年第33卷第3期

页      码:232-236页

摘      要: 采用基于开关电容技术的CMOS电路,实现差分式电容微传感器的信号读出;阐述了这种电路结构的工作原理;分析了噪声特性,并提出了减小噪声的措施。分析了各晶体管尺寸对热噪声和1/f噪声的影响,并在设计时进行了折衷。采用3μmN阱CMOS工艺参数对前置放大器进行了HSPICE仿真:放大器具有68nV/Hz的输入噪声、84dB的开环增益、130dB的共模增益等优良的交、直流特性;电路还可以达到1fF的输入分辨率。

主 题 词:电容式微传感器 CMOS电路 过采样 前置放大器 差分式 读出电路 工作原理 噪声特性 

学科分类:080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D O I:10.3969/j.issn.1004-3365.2003.03.016

馆 藏 号:203449233...

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