动态特性可调的微动平台优化设计

作     者：查雄飞 杨志军 胡颖怡 ZHA Xiongfei;YANG Zhijun;HU Yingyi

作者机构：广东省微纳加工技术与装备重点实验室广东广州510006 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(91648108 U1601202 51675106) 国家重点研发计划基金资助项目(2017YFF0105902) 广东省自然科学基金资助项目(2015A030312008 2015A030308004) 广东省科技计划基金资助项目(2015B010104006 2015B010104008 2015B090921007) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2019年第41卷第1期

页      码：115-118页

摘      要：针对目前柔性铰链主要靠局部变形来工作,其存在应力集中,且微动平台的动态特性受材料特性、设计制造等误差影响,难以满足变工况条件下的高精密位移输出。基于应力刚化原理,采用对称布置的带倒角的弹片式柔性铰链,设计张紧力调节机构,实现微动平台的动态特性可调。采用COMSOL Multiphysics和MATLAB联合仿真对张紧力调节机构进行参数优化,让调节机构保持线性调节关系,使柔性铰链的应力分布最小化。结果表明,所设计的微动平台能够进行高度线性固有频率调节,与有限元分析结果相比,频率调节范围相差2.55%,在理论设计范围内。

主 题 词：柔性铰链 微动平台 应力刚化 线性调节 有限元分析 

学科分类：080903[080903] 1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2019.01.027

馆 藏 号：203453728...