基于范德堡法测试金属薄膜电阻率的改进

作     者：张晓渝 臧涛成 葛丽娟 王军 马春兰 

作者机构：苏州科技大学天平学院江苏苏州215009 苏州科技大学数理学院江苏苏州215009 

基　　金：苏州科技大学天平学院教育教学改革研究重点项目(2017TGJA-01) 苏州科技大学教学改革与研究项目"2017JGMZ-06" 苏州科技大学天平学院教育教学改革研究项目"2017TJGB-09" 江苏省高等教育教改研究立项课题"2017JSJG474" 江苏省十三五重点学科"20168765"和江苏省高校自然科学研究重大项目"17KJA140001" 

出 版 物：《物理教师》 (Physics Teacher)

年 卷 期：2018年第39卷第12期

页      码：59-61页

摘      要：范德堡法是测试金属薄膜电阻率的有效方法之一,由于范德堡法测试金属薄膜电阻率的过程较为繁琐,本文采用金属铟为接触电极,设计可集成样品的压力装置和测试电路,能方便、准确、无损伤地表征金属薄膜的表面电阻.根据薄膜厚度和求解范德堡方程,可以高效得到金属薄膜电阻率.

主 题 词：范德堡法 金属薄膜 电阻率 

学科分类：0401[教育学-教育学类] 04[教育学] 

馆 藏 号：203453794...