基于硅各向异性腐蚀的平面沟道无阀微泵研究

作     者：张国威 刘晓为 陈伟平 倪鹤南 王喜莲 Zhang Guowei;Liu Xiaowei;Chen Weiping;Ni Henan;Wang Xilian

作者机构：哈尔滨工业大学哈尔滨150001 哈尔滨工业大学哈尔滨150001 哈尔滨工业大学哈尔滨150001 哈尔滨工业大学哈尔滨150001 哈尔滨工业大学哈尔滨150001 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60276038) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第Z1期

页      码：119-121页

摘      要：依据扩散口/喷嘴理论,设计了不同几何尺寸无阀微泵的扩散口/喷嘴光刻掩模版图,采用硅平面工艺、各向异性腐蚀及削角补偿等技术,制作出了多种无阀微泵.对无阀微泵泵压及流量进行了实验研究,结果表明:泵压与流量均呈现反比关系;扩散口/喷嘴的张角为8°时微泵效率最高;扩散口/喷嘴长度为2500μm、扩散口/喷嘴的窄口宽度为150μm、腐蚀深度为150μm时,无阀微泵的最大泵压和流量分别为14.9kPa和558μL/min.

主 题 词：扩散口 喷嘴 泵压 无阀微泵 

学科分类：080704[080704] 08[工学] 080401[080401] 0807[工学-电子信息类] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.039

馆 藏 号：203454067...