InP高压直拉单晶炉的热场优化设计与分析

作     者：梁仁和 曾周末 孙聂枫 王书杰 孙同年 Liang Renhe;Zeng Zhoumo;Sun Niefeng;Wang Shujie;Sun Tongnian

作者机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072 中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 

基　　金：国家自然科学基金(51401186 51871202)项目资助 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2018年第39卷第11期

页      码：95-102页

摘      要：高压直拉单晶炉的热场对磷化铟(InP)晶体生长过程有重要影响,存在缺陷的热场很难生长出合格的InP单晶,因此对InP晶体生长的热场进行优化设计与分析非常必要。提出了采用新型的碳/碳(C/C)复合材料加热器、复合固化硬毡为保温筒的热场结构,并通过仿真设计优化了InP单晶热场,解决了原有的以石墨加热器和碳纤维软毡为基础的InP单晶热场稳定性和对称性差以及使用寿命短的问题。经过实验测试,加热效率提高了25%,使用寿命达到90炉以上。

主 题 词：高压单晶炉 磷化铟单晶 晶体生长 碳/碳复合材料 热场 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0703[理学-化学类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.19650/J.CNKI.CJSI.J1803896

馆 藏 号：203454526...