亚微米级高精度复合式坐标测量机的研制

作     者：杨聪 王志伟 赵炎 周健 康岩辉 Yang Cong;Wang Zhiwei;Zhao Yan;Zhou Jian;Kang Yanhui

作者机构：苏州天准科技股份有限公司苏州215153 天津大学天津300072 中国计量科学研究院北京100013 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ170539)项目资助 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2018年第39卷第12期

页      码：1-8页

摘      要：坐标测量机(CMM)是最常用的长度测量仪器,但在面对复杂结构工件的高精度测量时,配备单一接触式测头的坐标测量机往往无法完全满足测量需求。针对这种情况,本文研制了一种亚微米级的高精度复合式坐标测量机。该仪器集成接触式测头、影像测头和光谱共焦测头,充分利用每种测头各自的优势,实现复杂工件的快速高精度测量。本文介绍了高精度复合式坐标测量机测量精度影响因素的处理方法,完成了测量机的机械结构设计,进行了几何误差和热误差补偿,对测量机3种测头进行了独立标定及融合标定。精度验证测试结果表明,所研制的复合式坐标测量机测量精度可达到亚微米级水平。

主 题 词：坐标测量机 复合式 亚微米 标定 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0703[理学-化学类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.19650/J.CNKI.CJSI.J1804113

馆 藏 号：203454558...