剪切式压电喷头多致动壁结构制备及特性分析

作     者：冯金磊 李东 孔全存 李勇 赵翔 FENG Jinlei;LI Dong;KONG Quancun;LI Yong;ZHAO Xiang

作者机构：北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院现代测控技术教育部重点实验室北京100192 清华大学机械工程系精密/超精密制造装备及控制北京市重点实验室北京100084 北京科技大学机械工程学院北京100083 

基　　金：苏州-清华创新引领行动专项基金资助项目(2016SZ0304) 国家自然科学基金资助项目(51675054 51775302) 北京市自然科学基金资助项目(3172013) 北京市教委科技发展计划面上基金资助项目(KM201711232005) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2019年第41卷第1期

页      码：135-140,145页

摘      要：剪切式压电喷头多致动壁结构是压电喷头的核心部件,针对国外在这一领域的长期垄断,通过对致动壁的特性分析,设计了剪切式压电喷头多致动壁结构,并探索出一种改进的制备工艺。通过极化、切割、二次极化、镀电极和焊线工艺,制备出长、宽、高分别为9.5mm、70μm、400μm的致动壁和液体腔。在有限元分析软件COMSOL下构建致动壁结构仿真模型并进行测试实验。结果显示,壁间电压在0～60V内,致动壁振动位移与其施加电压大小呈近似线性关系,仿真与实验与结果平均偏差约为4nm,最大偏差6.4nm,两者吻合度达87%,符合喷墨要求,为剪切式喷头的研制提供了应用可行性。

主 题 词：剪切式压电喷头 多致动壁结构 特性分析 制备工艺 COMSOL仿真 测试 

学科分类：080903[080903] 080801[080801] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2019.01.031

馆 藏 号：203454656...