大气压介质阻挡放电等离子体辅助原子层沉积氧化铝阻隔膜

作     者：魏海英 郭红革 秦莹莹 周美丽 陈强 WEI Haiying;GUO Hongge;QIN Yingying;ZHOU Meili;CHEN Qiang

作者机构：齐鲁工业大学印刷与包装工程学院济南250353 山东工艺美术学院视觉传达设计学院济南250353 北京印刷学院印刷与包装工程学院北京102600 

出 版 物：《材料导报》 (Materials Reports)

年 卷 期：2018年第32卷第A02期

页      码：311-314页

摘      要：为了研究纳米氧化铝对双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(BOPET)阻隔性能的影响,利用自行设计加工的大气压介质阻挡放电(DBD)等离子辅助原子层沉积(PAALD)设备,使用三甲基铝(TMA)和氧气等离子体(O_2)在厚度为120μm的BOPET上生长氧化铝(Al_2O_3)无机层。采用椭圆偏振仪、原子力显微镜、红外光谱仪、X射线光电子能谱分析和透湿仪等分别对氧化铝薄膜的厚度、表面形貌、成分和水蒸气透过率等进行测量和表征。结果表明,大气压DBD等离子体辅助沉积Al_2O_3薄膜具有ALD生长特性,生长速率为0.27nm/周期,高于在低压下由等离子体辅助ALD沉积的Al_2O_3的生长速率;生长的氧化铝薄膜结构致密、表面粗糙度小,薄膜成分较纯;其水蒸气透过率(WVTR)由PET原膜的3.17g/(m^2·d)低至0.05g/(m^2·d)。

主 题 词：原子层沉积 聚对苯二甲酸乙二醇酯 氧化铝 水蒸气透过率 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

馆 藏 号：203454821...