微型光扫描器研究

作     者：黄鹰 向思桦 陈四海 赖建军 易新建 HUANG Ying;XIANG Si-Hua;CHEN Si-Hai;LAI Jian-Jun;YI Xin-Jian

作者机构：华中科技大学光电子科学与工程学院 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60677025) 教育部2005年重点科技项目(105115) 

出 版 物：《红外与毫米波学报》 (Journal of Infrared and Millimeter Waves)

年 卷 期：2007年第26卷第1期

页      码：26-29页

摘      要：设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符.

主 题 词：微透镜阵列 压电驱动器 微光机电系统 微型光扫描器 

学科分类：080903[080903] 070207[070207] 07[理学] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1001-9014.2007.01.006

馆 藏 号：203455468...