基于几何莫尔效应的剪应力传感器设计研究

作     者：刘奎 苑伟政 邓进军 马炳和 姜澄宇 LIU Kui;YUAN Wei-zheng;DENG Jin-jun;MA Bing-he;JIANG Cheng-yu

作者机构：西北工业大学微纳米系统实验室西安710072 

基　　金：国家自然科学基金(90305017) 航空基金(04I5307403I53066)资助 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2007年第36卷第4期

页      码：686-689页

摘      要：结合风洞检测剪应力对高灵敏度和高响应频率传感器的设计要求,提出了基于莫尔效应转化敏感元件位移的微型光栅式剪应力测量方式.针对传感器的机械灵敏度、线性度和谐振频率的应用要求对敏感元件进行设计,并在敏感元件结构设计尺寸的基础上对莫尔条纹灵敏度及其相位变化进行分析计算,完成微型光栅式剪应力传感器的结构设计流程.

主 题 词：微传感器 莫尔效应 灵敏度 谐振频率 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

馆 藏 号：203455667...