Si_3N_4陶瓷轴承NCD涂层制备中的温度场模拟

作     者：杨春 卢文壮 左敦稳 徐锋 任卫涛 YANG Chun;LU Wen-zhuang;ZUO Dun-wen;XU Feng;REN Wei-tao

作者机构：南京航空航天大学机电学院江苏南京210016 南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室江苏南京210016 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No:50605032) 江苏省自然基金资助项目(编号分别为:BK2006189和BK2007193) 

出 版 物：《机械制造与自动化》 (Machine Building & Automation)

年 卷 期：2009年第38卷第3期

页      码：16-18,36页

摘      要：纳米金刚石(NCD)薄膜涂层由于优异的力学和摩擦学性能,是一种理想的轴承涂层材料。在用HFCVD方法制备NCD涂层的过程中,衬底温度是重要参数之一。首先设计了一种适合轴承内外圈NCD涂层制备的热丝夹持装置,其次分析了HFCVD系统的热交换过程,并建立了相应的衬底温度场的三维有限元模型。在此模型基础上具体讨论了热丝数目、温度、热丝到衬底距离等因素对衬底温度大小及均匀性的影响。结果表明,由于衬底相对尺寸较小并且考虑了衬底内部的热传导,各参数的变化对衬底温度大小有明显影响,但对衬底温度均匀性影响不大。结果为轴承NCD涂层的制备提供了理论基础。

主 题 词：陶瓷轴承 热丝法 纳米金刚石涂层 温度场 有限元分析 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-5276.2009.03.006

馆 藏 号：203456365...