点衍射干涉术在扫描力显微镜中的应用

作     者：牟旭东 卓永模 杨甬英 徐敏 

作者机构：浙江大学光学与科学仪器系 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：1998年第18卷第6期

页      码：688-692页

摘      要：目前在扫描力显微镜中经常用到的氮化硅三角形探针本身可以作为一个基于点微射干涉的微干涉元件。本文讨论了一种根据这一原理设计的用于扫描力显微镜的干涉光探针，它利用微探针表面几何反射波与后向点衍射波之间的干涉来检测微探针的形变，其纵向分辨率达到０．０１ｎｍ。

主 题 词：扫描力显微镜 点衍射干涉术 微探针 测量原理 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

馆 藏 号：203456367...