MOCVD自动控制电路的设计及其应用

作     者：孙一军 夏冠群 张良莹 姚熹 Sun Yijun;Xia Guanqun;Zhang Liangying;Yao Xi

作者机构：中国科学院上海冶金所 西安交通大学 

基　　金：中科院基金 博士基金 

出 版 物：《电子学报》 (Acta Electronica Sinica)

年 卷 期：1999年第27卷第7期

页      码：124-126页

摘      要：本文设计了ＭＯＣＶＤ自动控制电路，该电路既能手动控制又能采用计算机进行自动控制．将该电路应用于ＭＯＣＶＤ系统，成功制备出ＴｉＯ２纳米级超细粉，在５００℃～１０００℃范围内，超细粉的平均晶粒尺寸为７４～１５２ｎｍ．

主 题 词：控制电路 纳米级 超细粉 二氧化钛 MOCVD 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 080902[080902] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0372-2112.1999.07.036

馆 藏 号：203456990...