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基于ARM7的静电探针测量仪的设计

基于ARM7的静电探针测量仪的设计

作     者:许旺 陈政 李福龙 黄艳祥 王飞 苗银萍 宋殿友 张楷亮 XU Wang;CHEN Zheng;LI Fu-long;HUANG Yan-xiang;WANG Fei;MIAO Yin-ping;SONG Dian-you;ZHANG Kai-liang

作者机构:天津理工大学电子信息工程学院天津300384 

基  金:天津理工大学大学生创新性实验计划(DCSX09-004) 

出 版 物:《天津理工大学学报》 (Journal of Tianjin University of Technology)

年 卷 期:2011年第27卷第3期

页      码:26-29页

摘      要:设计了一种以ARM7为核心的静电探针自动测量仪,能够满足等离子参数测量的需要.该测量仪由A/D模块,D/A模块,以及隔离放大模块构成,可以实现对等离子体I-V特性曲线的获得,通过计算和分析伏安特性曲线从而获得等离子体密度和温度等相关参数.该系统具有成本低廉、携带方便、易于实用化等优势.

主 题 词:静电探针 等离子体 伏安特性曲线 A/D D/A 隔离放大 

学科分类:08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 

D O I:10.3969/j.issn.1673-095X.2011.03.007

馆 藏 号:203457170...

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