微芯片爆炸箔起爆器及其平面高压开关研究进展

作     者：杨智 朱朋 徐聪 张秋 覃新 沈瑞琪 YANG Zhi;ZHU Peng;XU Cong;ZHANG Qiu;QIN Xin;SHEN Rui-qi

作者机构：南京理工大学化工学院江苏南京210094 

基　　金：江苏省自然科学基金资助(BK20151486) 

出 版 物：《含能材料》 (Chinese Journal of Energetic Materials)

年 卷 期：2019年第27卷第2期

页      码：167-176,87页

摘      要：爆炸箔起爆系统(Exploding Foil Initiator system,EFIs)的每一次技术升级都伴随着设计理念和制造工艺的革新,尤其是微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)和低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramics,LTCC)工艺,极大地促进了微芯片爆炸箔起爆系统(Micro Chip Exploding Foil Initiator system,McEFIs)的发展。简要分析了两种工艺制备微芯片爆炸箔起爆器(Micro Chip Exploding Foil Initiator,McEFI)的优缺点,列举了几种平面高压开关在电容放电单元(Capacitor Discharge Unit,CDU)中的工作性能,得出了开关的设计思路和研究方法的可行性。基于MEMS工艺和LTCC工艺制备及研究McEFI、平面高压开关和平面高压开关集成McEFI,分别总结了国内外的研究进展。提出了重点研究方向:深入研究MEMS工艺制备McEFI及其平面高压开关,以达到工程化应用;采用LTCC工艺,一体化烧结可制备具有独石结构的平面高压开关和McEFI。

主 题 词：微芯片爆炸箔起爆系统(McEFIs) 电容放电单元 微芯片爆炸箔起爆器(McEFI) 平面高压开关 研究进展 

学科分类：08[工学] 082603[082603] 0826[工学-生物医学工程类] 

核心收录：

D　O　I：10.11943/CJEM2018146

馆 藏 号：203458411...