基于紫外纳秒脉冲激光的微加工系统设计与实验分析

作     者：刘春阳 隋新 杨芳 马伟 薛玉君 李济顺 傅星 Liu Chunyang;Sui Xin;Yang Fang;Ma Wei;Xue Yujun;Li JiShun;Fu Xing

作者机构：河南科技大学机电工程学院河南洛阳471003 河南省机械设计及传动系统重点实验室河南洛阳471003 天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072 

基　　金：国家科技重大专项资助项目(项目编号:2012ZX04004011) 河南省教育厅资助项目(项目编号:14B460028) 河南科技大学校青年基金资助项目(项目编号:2012QN0025) 创新基金资助项目(项目编号:20132CX009) 

出 版 物：《应用激光》 (Applied Laser)

年 卷 期：2014年第34卷第2期

页      码：126-130页

摘      要：介绍了紫外纳秒脉冲激光微加工系统的设计,以及利用该系统对不同材料的样品进行加工实验分析。系统采用355nm波长的紫外纳秒脉冲激光作为加工光源,设计了光路机械结构和基于DSP和FPGA的运动控制板,驱动3D运动平台带动样品运动实现加工。上位机软件对加工图像进行解析,并对加工过程进行控制。光路结构的共焦特性,保证了CCD的照明光源和加工光源共焦平面,实现了自动聚焦和在线观测功能。利用该微加工系统,针对单晶硅、光敏玻璃、陶瓷、金属等材料展开了多种加工实验,验证了系统性能的可靠性和实用性,通过对不同材料的加工结果进行了观测和分析,对加工参数和工艺进行了优化,总结了紫外脉冲激光针对不同材料的加工特性。

主 题 词：紫外纳秒脉冲激光 微加工 硅 光敏玻璃 

学科分类：08[工学] 082503[082503] 0825[工学-环境科学与工程类] 

D　O　I：10.3788/al20143402.126

馆 藏 号：203458537...