高反射镜表面疵病激光散射显微成像检测

作     者：杨飞 高爱华 刘卫国 秦文罡 Yang Fei;Gao Aihua;Liu Weiguo;Qin Wengang

作者机构：西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室西安710021 

基　　金：国防科工局(JCKY2016208A001)项目资助 

出 版 物：《电子测量技术》 (Electronic Measurement Technology)

年 卷 期：2019年第42卷第4期

页      码：110-116页

摘      要：反射镜表面疵病散射直接影响光学测试系统的性能、精度等多项重要指标。反射镜表面疵病的散射量可借助激光散射显微镜进行检测,为了保证整个系统的检测效率及精度要求,在硬件系统的设计上,设计显微物镜镜头、计算光斑的大小及CCD的功率谱响应;在软件系统的设计上,利用软件编写激光散射显微成像测试系统软件,能利用步进电机对反射镜表面进行扫描,同时控制图像采集卡采集图像并保存,重点研究如何快速有效地对采集到的子孔径图像进行精确配准,为后续图像的拼接处理奠定基础。通过分析整个测试系统的精度,×20倍率下能够分辨5～10μm疵病。

主 题 词：激光散射 显微成像 图像配准 拼接处理 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.19651/j.cnki.emt.1802052

馆 藏 号：203458963...