I^2形原子力显微镜探针设计优化

作     者：熊壮 屈明山 张照云 杨荷 XIONG Zhuang;QU Ming-shan;ZHANG Zhao-yun;YANG He

作者机构：中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61404121) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2019年第38卷第3期

页      码：96-98,101页

摘      要：针对基于微机电系统(MEMS)技术的I^2形原子力显微镜(AFM)探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I^2形探针的压阻检测设计未考虑结构应变分布,导致检测灵敏度较悬臂式探针相比尚有一定差距的问题,通过对I^2形探针应变分布的考察,实现了探针结构优化设计。实验结果表明:在相同结构,相同输入前提下,改进后探针的力灵敏度达到28. 9p N/Hz^(1/2),较原有基础上提高10倍。通过进一步对检测电路的优化,力灵敏度有望满足商用需求(小于10p N/Hz^(1/2))。

主 题 词：原子力显微镜 微机电系统(MEMS)谐振器 热执行 压阻检测 微纳加工 

学科分类：08[工学] 080502[080502] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2019)03-0096-03

馆 藏 号：203459174...