四质量硅微陀螺阵列的正交误差校正系统分析

作     者：季奇波 张印强 杨波 李丽娟 刘琴 周中鑫 JI Qi-bo;ZHANG Yin-qiang;YANG Bo;LI Li-juan;LIU Qin;ZHOU Zhong-xin

作者机构：南京工业大学电气工程与控制科学学院江苏南京211800 东南大学仪器科学与工程学院江苏南京210096 

基　　金：国家自然科学基金项目(61571156) 航空科学基金项目(20150869005) 江苏省高校自然科学研究项目(12KJD460003) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2019年第1期

页      码：122-126页

摘      要：为了减小正交误差对硅微阵列陀螺仪测量精度的影响,提高系统性能,采用自适应模糊PID控制和正交耦合刚度校正法研究硅微阵列陀螺仪的正交误差校正问题。首先,分析了硅微阵列陀螺仪正交误差的产生原因及其对系统性能的影响;其次,阐述了基于静电结构耦合效应的正交耦合刚度校正法的工作原理,设计了校正电极;最后,基于自适应模糊PID控制设计了正交误差校正系统,根据系统不同的偏差E和偏差率Ec实现了PID参数的自整定。Simulink仿真结果表明基于自适应模糊PID的正交误差校正系统的动态响应速度是常规PID的3倍,超调量是常规PID的十分之一,有效地实现了正交误差校正,提高了系统的自适应性。

主 题 词：硅微阵列陀螺仪 正交误差 静电-结构耦合 自适应模糊PID 正交耦合刚度校正 

学科分类：08[工学] 0825[工学-环境科学与工程类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2019.01.028

馆 藏 号：203459426...