基于平行板电容器的材料表面形貌测量仪

作     者：白雪琪 廖琨 唐际杰 张谷令 邹斌 BAI Xue-qi;LIAO Kun;TANG Ji-jie;ZHANG Gu-ling;ZOU Bin

作者机构：中央民族大学理学院北京100081 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No:61675238 61775244) 中央民族大学本科生科研训练计划资助项目(No.GCCX2017110004) 中央民族大学自主科研项目(No.2018QNPY52) 

出 版 物：《物理实验》 (Physics Experimentation)

年 卷 期：2019年第39卷第2期

页      码：32-36页

摘      要：利用平行板电容器的原理设计了材料表面形貌测量仪,将探针与电容器下极板固连,当探针在不平整的样品表面扫描时,两极板间距发生改变而引起电容变化.通过LabVIEW编程控制平移台蛇形移动,用平行板电容器厚度测试电路测量pF量级的电容改变值.两极板初始距离为50～200μm的工作范围内,测量误差稳定在2μm.通过实时捕捉探针的坐标和极板间距的变化量,该测量仪可以绘制出三维曲面图.

主 题 词：平行板电容器 表面形貌 厚度 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.19655/j.cnki.1005-4642.2019.02.006

馆 藏 号：203459448...