MEMS系统级设计与基于多端口组件网络的建模方法

作     者：马炳和 霍鹏飞 苑伟政 

作者机构：西北工学大学微/纳米系统实验室西安710072 

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (5 0 2 0 5 0 2 2 ) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2003年第40卷第7期

页      码：40-40页

摘      要：MEMS的系统级设计对保证其整体综合性能和合理开发MEMS产品至关重要。针对MEMS的多能量域耦合、多信号混合的特点以及能量非保守等特殊要求 ,提出了基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法———采用多端口组件表示MEMS的功能结构部件 ,组件与组件通过端口联成网络表示整个系统 ;用统一规范化的微分代数方程表征并用硬件描述语言表述多端口组件。针对梁等具体的MEMS功能结构部件 ,采用宏建模方法确定其行为方程 ,从而得到有特定物理意义的、可供重用的组件模型。最后 。

主 题 词：MEMS 微电子机械系统 系统级设计 多端口组件网络 系统级建模 能结构部件 宏建模 

学科分类：080805[080805] 0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2003.07.011

馆 藏 号：203459963...