Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析

作     者：王平 王汝冬 田伟 王立朋 隋永新 杨怀江 WANG Ping;WANG Ru-dong;TIAN Wei;WANG Li-peng;SUI Yong-xin;YANG Huai-jiang

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 

基　　金：02重大专项(No.2009ZX02205) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2011年第19卷第9期

页      码：2100-2107页

摘      要：搭建了光-机-热耦合模型,用于分析Fizeau干涉仪光机系统的热稳定性,并研究了该系统的计算流程、环境温度和系统光学质量的随机性、系统光学质量与环境温度的关系等。首先,根据实验室温控条件,建立环境温度的随机分布模型,进行了光-机-热耦合分析并计算不同温度下光机结构的热分布和结构变形;然后,通过Zernike多项式拟合透镜表面面形和曲率半径,利用光学仿真软件分析变形后的光学系统;最后,对系统光学质量进行概率分析,评价了系统的热稳定性。分析结果表明,温度控制在(22±0.1)℃时,在2σ的置信水平下,Fizeau干涉仪的出射光波前的重复性可以达到0.016%λ,基本满足干涉仪主机光机系统的重复性要求。

主 题 词：Fizeau干涉仪 光机稳定性 重复性 光-机-热耦合分析 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/ope.20111909.2100

馆 藏 号：203463884...