离轴椭球面的反射式补偿检验

作     者：李红光 刘秀梅 达争尚 Li Hongguang;Liu Xiumei;Da Zhengshang

作者机构：中国科学院西安光学精密机械研究所先进光学仪器研究室陕西西安710119 长安大学兴华学院陕西西安710077 

基　　金：国家高技术研究与发展计划(091Z511BOA) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2012年第41卷第8期

页      码：2152-2155页

摘      要：使用要求离轴椭球镜的面形PV(峰谷)值优于0.4λ(λ=351 nm)。根据三级像差理论球差表达式和补偿检验原理,得出检测光路中球面补偿镜的半径表达式。由已知数据求解补偿光路的初始结构参数,并带入软件中得到优化后的设计结果,优化后的结果和初始结构参数没有变化,说明补偿光路的求解方法是正确的。考虑到元件的加工误差和检测光路的调试误差,将误差带入检测光路进行模拟分析后,得出被检元件的面形精度:取98%的合格概率时,椭球镜的面形PV为0.379λ(λ=351 nm),能够满足使用要求,说明离轴椭球面的反射式补偿检验法是可行的。

主 题 词：反射式补偿检验 精度分析 离轴椭球面 三级像差理论 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2012.08.035

馆 藏 号：203464093...