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φ200mm蓝宝石晶体生长工艺研究

φ200mm蓝宝石晶体生长工艺研究

作     者:于旭东 孙广年 张会选 吕进 王进学 孙亮 YU Xu-dong;SUN Guang-nian;ZHANG Hui-xuan;LU Jin;WANG Jin-xue;SUN Liang

作者机构:浙江巨兴光学材料有限公司衢州324004 

基  金:国家科技攻关项目(浙江省科技厅2001BA321C) 

出 版 物:《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)

年 卷 期:2006年第35卷第1期

页      码:201-205页

摘      要:采用单晶提拉炉成功生长出200mm×180mm大尺寸A l2O3晶体。探讨了晶体生长工艺参数和晶体开裂之间的关系,并讨论了晶体中的热应力、热应变、温度梯度、提拉速度之间的关系,分析了影响晶体质量主要是晶体开裂的原因,设计出生长大尺寸A l2O3晶体的最佳工艺条件。

主 题 词:大直径Al2O3 晶体 温度梯度 晶体开裂 

学科分类:07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录:

D O I:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.01.046

馆 藏 号:203464921...

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