RTR(Roll to Roll)方式制作25μm/25μm COF精细线路的参数优化

作     者：刘尊奇 张胜涛 何为 莫芸绮 周国云 倪乾峰 金轶 何波 陈浪 王淞 林均秀 LIU Zun-qi;ZHANG Sheng-tao;HE Wei;MO Yun-qi;ZHOU Guo-yun;NI Qian-feng;JIN Yi;HE Bo;CHEN Lang;WANG Song;LIN Jun-xiu

作者机构：重庆大学化学化工学院四川重庆400000 电子科技大学应用化学系四川成都610054 珠海元盛电子科技有限公司技术中心广东珠海519060 

基　　金：粤港关键领域重点突破项目(2007A090604005) 

出 版 物：《印制电路信息》 (Printed Circuit Information)

年 卷 期：2009年第17卷第9期

页      码：41-45页

摘      要：随着电子产品小型化和液晶显示器IC封装技术的快速发展,COF(Chip on Film)技术的应用市场得到了迅速扩大。按照片式减成方法制作的线宽/线距在50μm/50μm以下的精细线路,常常会出现导线过细或断线等缺陷。论文采用目前先进的RTR(Roll to Roll)生产工艺,选用12μm铜箔、15μm干膜,使用玻璃菲林进行图形转移,并运用正交设计法对影响精细线路品质的曝光能量、显影速度、蚀刻速度、蚀刻压力等因素进行优化试验。以精细线路的线宽和蚀刻系数作为评价标准,找出最佳参数,并分析了蚀刻压力对精细线路的影响机理。将最优化参数应用到生产中,使25μm/25μm的COF精细线路的成品率提高20%。最终实现25μm/25μm的COF精细线路的小批量生产。

主 题 词：RTR 精细线路 COF 正交设计法 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1009-0096.2009.09.012

馆 藏 号：203465930...