光电集成加速度计中声光波导相位调制器的研究

作     者：钟娟娟 陈才和 张燕君 吴波 崔宇明 丁桂兰 

作者机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室天津300072 

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (40 2 74 0 4 7) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2004年第17卷第4期

页      码：651-654页

摘      要：提出一种新型声光波导相位调制技术 ,用于光电集成M -Z光波导干涉型加速度计的信号调制。相位调制器工作在溅射有K8缓冲层的硅基底上 ,工作波长为 1 3μm。主要对声光调制器的特性参数进行了理论分析和优化设计 ,结果为 :氧化锌薄膜尺寸 5× 0 8× 0 0 0 3mm ,叉指换能器叉指对数N =17,中心距l=2 7 19μm ,中心频率f0=4 8MHz,中心指长L0 =4 4 6mm。

主 题 词：光波导 声光调制 声表面波(SAW) 相位调制 叉指换能器 氧化锌薄膜 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0803[工学-仪器类] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2004.04.031

馆 藏 号：203470174...