划片机工作台直线度的设计与实现

作     者：王明权 李战伟 WANG Ming-quan;LI Zhan-wei

作者机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所北京东燕郊101601 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2007年第36卷第12期

页      码：35-39页

摘      要：依据IC晶圆的切割道和先进封装的工艺数据,分析划片机的误差,分配各功能部件的精度。依据桥形结构划片机的结构,建立工作台的力学模型,确定直线导轨的类型,研究直线导轨副工作台直线度的实现方法。

主 题 词：误差分析 精度分配 直线度 均化效应 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2007.12.007

馆 藏 号：203471131...