微拉伸测试系统中PZT微驱动器的设计与实现

作     者：张国庆 褚金奎 高佳丽 ZHANG Guo-qing;CHU Jin-kui;GAO Jia-li

作者机构：大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室辽宁省微纳米技术及系统重点实验室辽宁大连116023 

基　　金：国家重点基础研究发展规划项目(2011CB302101,2011CB302105) 国家自然科学基金项目(51175056) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2013年第7期

页      码：23-25,48页

摘      要：为了实现微拉伸测试系统中微位移的精密进给,首先设计了一种压电陶瓷微驱动器,然后在LabVIEW平台上利用PID控制算法对其进行了闭环控制。控制后的微驱动器输出精度达到10 nm,响应时间较开环时缩短了近10倍,明显改善了输出特性并达到了线性输出的目的。最后将该驱动器应用于搭建的微拉伸测试系统,对SU-8光刻胶薄膜进行了微尺度力学性能测试,测得SU-8光刻胶薄膜的杨氏模量为(1.47±0.27)GPa,抗拉强度为(62.18±16.49)MPa,最大应变为(3.57±1.4)%。该驱动器基本满足了微拉伸测试的需要。

主 题 词：微拉伸测试 压电陶瓷 PID SU-8光刻胶 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2013.07.008

馆 藏 号：203473651...