谐振面积与电极图案对质量传感器性能的影响

作     者：郑丹 ZHENG Dan

作者机构：武汉软件工程职业学院光电系湖北武汉430205 湖北大学物电学院湖北武汉430062 

出 版 物：《新技术新工艺》 (New Technology & New Process)

年 卷 期：2014年第2期

页      码：83-85页

摘      要：在p型(100)单晶Si基衬底上,利用磁控溅射设备完成直流溅射Mo/Ti布拉格反射层和射频反应溅射AlN压电层,用光刻微加工工艺设计了不同谐振面积与电极图案的Ti/Au上电极,在优化工艺条件下制备了氮化铝基体声波质量传感器,比较分析了不同电极图案和谐振面积对传感器性能的影响。研究表明,电极图案相同时,谐振面积为10 000(100×100)μm2的器件电学性能最好,谐振面积相同时,电极图案为圆形的损耗最小;内角为直角的正方形损耗最大,内角为钝角的五边形损耗居中。

主 题 词：磁控溅射 质量传感器 谐振面积 电极图案 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-5311.2014.02.026

馆 藏 号：203473882...