光刻物镜光瞳极平衡性标定方法

作     者：芮大为 史振广 袁文全 张巍 Rui Dawei;Shi Zhenguang;Yuan Wenquan;Zhang Wei

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 

基　　金：国家科技重大专项(2009ZX02205) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2014年第41卷第9期

页      码：276-283页

摘      要：极平衡作为光刻物镜的一项重要指标,受到多种误差因素综合调制,因此有必要准确区分各种误差源的独立贡献量。提出了一种标定方法,将远心度误差所引入的调制效果进行了解耦,对极平衡指标进行了标定,并与质心标定方法进行对比研究。实现途径是以Matlab程序作为载体,调用Code V进行远心度运算,对LightTools的光瞳强度仿真结果进行重新定位,从而获取远心分离后的极平衡性指标。此外,设计了一个光刻物镜方案作为研究对象,对标定程序进行了仿真验证。结果表明,该标定方法可有效分离远心误差对极平衡的调制作用,程序执行效率较高。

主 题 词：光学设计 光刻物镜 光瞳极平衡 远心度 

学科分类：080903[080903] 070207[070207] 07[理学] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/cjl201441.0916002

馆 藏 号：203474257...