射频ICP离子源设计研究

作     者：许沭华 任兆杏 沈克明 翁坚 

作者机构：中国科学院等离子体物理研究所安徽合肥230031 

出 版 物：《真空科学与技术》 (Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2002年第22卷第4期

页      码：310-312页

摘      要：本文介绍了射频 (RF)感应耦合等离子体 (ICP)离子源的设计研究。对RFICP的结构、离子流的引出以及离子流的均匀性、中性化和射频匹配网络进行了研究。

主 题 词：射频ICP 离子源 设计 射频匹配网络 感应耦合等离子体 离子流 均匀性 中性化 

学科分类：07[理学] 070204[070204] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2002.04.017

馆 藏 号：203474844...