电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析

作     者：曹井通 崔峰 陈伟 郭兆鑫 陈文元 CAO Jingtong;CUI Feng;CHEN Wei;GUO Zhaoxin;CHEN Wenyuan

作者机构：上海交通大学微纳电子系微米纳米加工国家重点实验室上海200240 

基　　金：国家"973"计划项目(2011CB933102) 上海市科委平台建设项目(11DZ2290303) 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2015年第36卷第5期

页      码：725-727,732页

摘      要：基于MEMS加工技术,提出了一种加热、传感电极和反应腔室可分离的PCR芯片结构,加热、传感电极采用Pt薄膜材料并可重复使用,反应腔室采用PDMS材料,芯片的制造成本大为降低。利用COMSOL软件对设计的PCR芯片进行了温度场仿真分析,并用红外热像测温仪(NEC R300)对微制造的芯片温度场分布进行了测量。测量结果表明芯片结构能得到较好的温度均匀性,为后续PCR芯片扩增实验提供了可靠的依据。

主 题 词：MEMS PCR芯片 PDMS COMSOL 温度仿真 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.16818/j.issn1001-5868.2015.05.011

馆 藏 号：203478621...