固态微波功率器件测试方法研究

作     者：王文娟 项道才 胡菊萍 

作者机构：中国电子技术标准化研究院北京100076 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2012年第37卷第12期

页      码：974-978页

摘      要：固态微波功率器件由于其大功率、高频率、宽频带的特性,使其微波电参数的测试成为一大难点,特别是对非同轴、无内匹配的功率器件而言,微波参数的测量难度更大。介绍了固态微波功率器件测试的整体方案,针对某款SiC器件的尺寸及特性,设计制作了相应的测试夹具及校准件,利用矢量网络分析仪及阻抗调谐器搭建测试平台,通过负载牵引技术调整输入输出阻抗,并通过TRL校准技术消除夹具引入的误差,将被测端面移动到被测件的两端,得到被测器件的真实特性。经实验验证,在器件工作频率范围内测试系统的阻抗都能达到良好匹配,并得到被测器件的最佳性能指标。

主 题 词：微波功率器件 测试夹具 校准件 负载牵引系统 去嵌入 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353x.2012.12.015

馆 藏 号：203478622...